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노광기 | MPA-600Super

관리번호ASHAXBB874E1
모델명MPA-600Super
제조사Canon
노광기
노광기 노광기 노광기 노광기 노광기

제품상세

제품상태
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6인치
G1 미러 파손 (금가 있는 부분이 있음)
리니어 동작이상 (제어계 NG・하드계 OK)
척킹 영역의 웨이퍼 반송핸드가 동작하지 않는 상태
이니셜 시, 에러 발생 (램프 하우스 옆)
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